FAQ по C#
Вопрос 30. Как создать временный файл?

Для создания временного файла можно применять множество методов. Например, сгенерировать GUID и создать файл с таким именем. А можно поступить проще - а именно воспользоваться статическим методом GetTempFileName класса Path:

string s = Path.GetTempFileName();

Этот метод создает нужный файл возвращает полное (вместе с путем) имя этого файла. Файл создается во временной папке конкретного пользователя (типа D:\Documents and Settings\SomeUser\Local Settings\Temp\tmp15E.tmp).